参考观研天下发布《2018年中国半导体专用设备行业分析报告-市场深度调研与发展前景研究》
单位：万美元、%
| 省市 |
金额 |
同比增长 |
| 全国 |
113340 |
30.9 |
| 北京 |
1866 |
11.1 |
| 天津 |
2754 |
26.9 |
| 河北 |
1934 |
64.6 |
| 山西 |
15 |
-95.5 |
| 内蒙古 |
11 |
-92.5 |
| 辽宁 |
4733 |
48.5 |
| 吉林 |
960 |
36.5 |
| 黑龙江 |
257 |
33.4 |
| 上海 |
14088 |
10.9 |
| 江苏 |
22568 |
39.9 |
| 浙江 |
12581 |
116.2 |
| 安徽 |
1581 |
-71.6 |
| 福建 |
4597 |
-5.8 |
| 江西 |
2599 |
449.8 |
| 山东 |
9577 |
48.6 |
| 河南 |
1127 |
325.7 |
| 湖北 |
5945 |
333.8 |
| 湖南 |
2585 |
60.1 |
| 广东 |
16472 |
28.5 |
| 广西 |
763 |
48474.5 |
| 海南 |
14 |
1266 |
| 重庆 |
1246 |
14.4 |
| 四川 |
2989 |
199.9 |
| 贵州 |
614 |
19453 |
| 云南 |
44 |
-34.2 |
| 陕西 |
804 |
-81.1 |
| 甘肃 |
26 |
-38.6 |
| 宁夏 |
34 |
-68.2 |
| 新疆 |
557 |
-55.2 |
资料来源：中国石油和化学工业联合会，观研天下YX整理
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